“董事长，尼康方面要是请我们帮忙为DSP-100升级双工作台系统，我们是否答应？”
去年2月，尼康方面花钱请BSEC为NSR-S308F干式光刻机升级相匹配的双工作台系统。
在攻克193nm波长的世界性光学难题上，BSEC、GCA和ASML最后走的是134nm波长的浸润式技术，Nikon和Canon走的是157nm波长的干式技术。
按照当初同尼康公司签订的授权技术...
“董事长，尼康方面要是请我们帮忙为DSP-100升级双工作台系统，我们是否答应？”
去年2月，尼康方面花钱请BSEC为NSR-S308F干式光刻机升级相匹配的双工作台系统。
在攻克193nm波长的世界性光学难题上，BSEC、GCA和ASML最后走的是134nm波长的浸润式技术，Nikon和Canon走的是157nm波长的干式技术。
按照当初同尼康公司签订的授权技术...