郭一略一沉思,便知道安城在担心什么,他也是笑了笑,然后说道:
“这种制程工艺的提升并不具备通用性,这种改造的原理很简单,我也只是在光刻十步法的基础上进行的微调。
光刻十步法,这并不是什么新鲜的东西,其中的流程大家都知道,这是基础原理。
如果用在同类型的光刻机,也就是魔都微电子的90nm这款光刻机上,我的改造方案是有参考价值的。但换一种光刻机的话,那就完全不适用了。...
郭一略一沉思,便知道安城在担心什么,他也是笑了笑,然后说道:
“这种制程工艺的提升并不具备通用性,这种改造的原理很简单,我也只是在光刻十步法的基础上进行的微调。
光刻十步法,这并不是什么新鲜的东西,其中的流程大家都知道,这是基础原理。
如果用在同类型的光刻机,也就是魔都微电子的90nm这款光刻机上,我的改造方案是有参考价值的。但换一种光刻机的话,那就完全不适用了。...