郭一连续好几天都在A1厂出没,寻找这可以提升芯片制造工艺的关键点。
材料热膨胀相互的影响,光的衍射对于光刻的影响,线宽控制的几个常规改进,光学近距效应修正,硅片平台水平控制的关键因素,光刻胶涂胶工艺的改进……
……
随着每天在工厂观摩推演芯片制造的整个流程,郭一的小本本上记满了各种可以对工艺有明显改进的方法。
“安叔,召集工程师们,开会。”
郭一虽...
郭一连续好几天都在A1厂出没,寻找这可以提升芯片制造工艺的关键点。
材料热膨胀相互的影响,光的衍射对于光刻的影响,线宽控制的几个常规改进,光学近距效应修正,硅片平台水平控制的关键因素,光刻胶涂胶工艺的改进……
……
随着每天在工厂观摩推演芯片制造的整个流程,郭一的小本本上记满了各种可以对工艺有明显改进的方法。
“安叔,召集工程师们,开会。”
郭一虽...